在MEMS和AFE核心技術(shù)領(lǐng)域擁有雄厚實(shí)力的美蓓亞三美集團(tuán)旗下三美電機(jī)株式會社（以下簡稱三美電機(jī)），以“室內(nèi)設(shè)備壓力可視化 ”為主題推出了一款新產(chǎn)品MMR920系列壓力傳感器。產(chǎn)品具備小型化、低功耗的優(yōu)勢，能夠以±1%FS的精度測量±3.92kPa的壓力范圍。

MMR920系列采用新型MEMS結(jié)構(gòu)，提高了內(nèi)部MEMS芯片的靈敏度，并配備了24bit⊿ΣADC，能夠以較高的有效分辨率進(jìn)行準(zhǔn)確的壓力測量。它可以檢測空調(diào)設(shè)備、冷氣機(jī)、換氣扇等因過濾器堵塞而引起的內(nèi)部壓力變化和醫(yī)療器械等因呼氣而引起的微小壓力變化。

MMR920系列傳感器采用7mm小型表面貼裝式封裝和新型背面受壓封裝結(jié)構(gòu)，具有防潮防塵功能，有助于縮小安裝側(cè)基板的尺寸和減少設(shè)計(jì)工時(shí)，從而實(shí)現(xiàn)空調(diào)和醫(yī)療器械的進(jìn)一步小型化。

特點(diǎn)

① 新型MEMS結(jié)構(gòu)提高了產(chǎn)品靈敏度。通過采用將壓力集中在壓電元件上的結(jié)構(gòu)，靈敏度比MS901系列高出約4.59倍。

② 專利技術(shù)實(shí)現(xiàn)了從MEMS芯片背面受壓的結(jié)構(gòu)，這在過去的小型表面貼裝型封裝中很難實(shí)現(xiàn)。這項(xiàng)專利技術(shù)實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)品小型化的同時(shí)，還能確保防止?jié)駳夂彤愇飶膰娮觳糠诌M(jìn)入內(nèi)部。

③ 產(chǎn)品內(nèi)部安裝了高性能24bit⊿ΣAFE，實(shí)現(xiàn)了傳感器的高速響應(yīng)和高分辨率（低噪音）。

④ 傳感器的偏差和溫度特性在出貨時(shí)已得到校正，因此無需復(fù)雜的傳感器驅(qū)動/控制電路/校正。

*已取得日本專利（專利第7352076號，專利第7323810號）

主要用途

空調(diào)設(shè)備、冷氣機(jī)和換氣扇

CPAP和呼吸輔助設(shè)備等醫(yī)療器械

電子管樂器 等

產(chǎn)品照片

三美電機(jī)制造MMR920系列

產(chǎn)品規(guī)格

● 工作電壓范圍 ： 3.0~3.6V

● 工作壓力范圍 ： ±3.92kPa

● 工作溫度范圍： -40~60°C (* 后續(xù)將推出-40~85°C 產(chǎn)品)

● 電流消耗： 0.8mA

● 壓力精度 ： ±1.0%FS

● 轉(zhuǎn)換時(shí)間： 0.4 / 0.8 / 1.6 / 3.2 ms（可選）

● 有效分辨率：1.9 / 0.9 / 0.4 / 0.2 Pa RMS（與所選轉(zhuǎn)換時(shí)間對應(yīng)）

● 接口：I2C / SPI

封裝：MEMS-12B

尺寸：7.0 x 7.0 x 7.2（W×D×H）mm

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