壓力傳感器是一種將壓力轉(zhuǎn)換成電信號并輸出的裝置，主要由將壓力轉(zhuǎn)換成電信號的壓力敏感元件和處理電信號的信號處理裝置組成。壓力傳感器有MEMS、電阻式、電容式、壓電式和光學(xué)式等多種類型，廣泛應(yīng)用于各種設(shè)備中。

一、MEMS壓力傳感器

美蓓亞三美使用 MEMS 技術(shù)和應(yīng)變片技術(shù)來制造壓力傳感器，其特點(diǎn)是接口的輸出格式也分為模擬和數(shù)字兩種。此外，MEMS壓力傳感器具有更小的量程，可用于-50kPa-50kPa的領(lǐng)域。

二、MEMS壓力傳感器的應(yīng)用

MEMS壓力傳感器可用于血壓計(jì)和其他醫(yī)療設(shè)備的袖帶壓力測量，也可用于燃?xì)獗硇孤z測、異常壓力檢測和燃料供應(yīng)壓力檢測。主要的應(yīng)用領(lǐng)域如下所示。

1、自動化工廠中的壓力傳感器

工廠自動化行業(yè)使用 MEMS 壓力傳感器的一種方式是控制工廠所用設(shè)備的氣壓（氣體壓力）和液壓，并利用測量到的信息進(jìn)行適當(dāng)?shù)脑O(shè)備操作。

有些機(jī)器手也是利用壓力的 "吸力型 "設(shè)備，可以通過 MEMS 壓力傳感器進(jìn)行精細(xì)控制，在不損壞產(chǎn)品的情況下處理要抓取的產(chǎn)品。

2、血壓計(jì)用壓力傳感器

美蓓亞三美作為主要的血壓計(jì)用壓力傳感器供應(yīng)商，在日本本土及海外都設(shè)有生產(chǎn)基地，生產(chǎn)的MEMS 壓力傳感器已應(yīng)用于多種血壓計(jì)。

3、汽車行業(yè) 壓力傳感器被安裝在汽車內(nèi)部的各種環(huán)境中，并根據(jù)不同條件進(jìn)行封裝。如在發(fā)動機(jī)控制中，壓力傳感器被安裝在進(jìn)氣、排氣、汽油罐等部位用于檢測氣體和液體。此外，為防止電動汽車使用的鋰電池出現(xiàn)熱失控，使用壓力傳感器的電池監(jiān)測技術(shù)正在不斷開發(fā)。

MEMS壓力傳感器結(jié)合了半導(dǎo)體技術(shù)和傳感器技術(shù)，將電子電路和機(jī)械元件集成為一個獨(dú)立組件，使產(chǎn)品 "更小、更輕、更精密"，在提升設(shè)備性能和便利性，促進(jìn)設(shè)備小型化和輕量化等方面發(fā)揮了重要作用。